高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水,分别用符号EH和PH标志。
电子级高纯水:
在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点:
a.具有精细图形结构;b.对器件表面有特殊要求;c.工艺对水质有特定的严格要求。
有四项考核内容:1、水中自由离子浓度;2、水中悬浮微粒的数量和大小;3、水中有机物总量;4、水中细菌微生物状况。
普通高纯水:
分为三个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级。
具体详见:中华人民共和国纯水标准点击下载
再生回用水标准详见:再生回用水标准
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