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在电子、电镀行业生产过程中，每个工段生产流程的差异，对纯水的品质要求也不同。其中最关键的指标是电导率(电阻率)；根据电阻率的不同，可分为去离子水、蒸馏水、纯水、超纯水、电子级超纯水。
电子级超纯水设备，不仅需要将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的。根据超纯水中电阻率、硅、细菌数、颗粒度等指标情况